接下来分析了等离子体清洗在ITO领域的应用特点。氧化铟锡(ITO)是一种重要的透明半导体材料。一方面,硅烷做附着力促进剂的浓度它具有稳定的化学性质,良好的透光性和导电性,因此在光电工业中得到广泛的应用。ITO在沉积过程中形成高度简单的n型半导体。在Sn掺杂情况下,费米能级Er在导带底EC以上,载流子